Sonde à quatre points

Mesure rapide et facile de la résistance carrée, de la résistivité et de la conductivité des couches minces. Grâce aux deux types de sondes disponibles, optimisez vos mesures sur de nombreux échantillons différents :

Les sondes à pointe souple conviennent aux échantillons délicats. Les contacts arrondis à ressort permettent des mesures de surface de haute qualité sans endommager l’échantillon, ce qui est idéal pour caractériser les films polymères nanométriques.
Les sondes à pointe acérée sont conçues pour percer les couches d’oxyde isolantes pour une mesure fiable de matériaux tels que le silicium.

Les deux modèles s’intègrent parfaitement à tout environnement de laboratoire. Le modèle Plus permet d’effectuer des mesures sans PC grâce à un logiciel intégré facilement contrôlable via l’écran LED et le clavier. Intégrant l’unité source-mesure Ossila, sa large plage de courant permet une grande variété de mesures. Optez pour la sonde quatre points pour une caractérisation rapide et fiable des matériaux.

Description

Plage de tension	±100 μV – ±10 V
Gammes actuelles	±20 μA – ±200 mA (5 plages)
Plage de résistance de la feuille	100 mΩ/carré – 10 MΩ/carré

Types de sondes

Les sondes à pointe souple réduisent le risque d’endommager les films minces délicats grâce à leurs pointes arrondies et à leur surface plus large (rayon de 0,24 mm). Plaquées or, les sondes sont montées sur ressorts pour se rétracter dans la tête de la sonde au contact de l’échantillon. Cette conception répartit la force vers le bas et assure une force uniforme de 60 grammes appliquée à l’échantillon. Les sondes à pointe souple ne conviennent pas au silicium ni aux autres matériaux qui forment naturellement des couches d’oxyde isolantes.

Les sondes à pointe acérée sont conçues pour les matériaux présentant des couches d’oxyde se formant naturellement, avec un diamètre de pointe de 0,08 mm. Les sondes en carbure de tungstène nickelé peuvent appliquer une force maximale de 197,43 gf pour percer la couche isolante et assurer des mesures fiables des échantillons.

Schéma des sondes de la tête de sonde à quatre points — Sondes à pointe souple

Résistance de la feuille

Résistance de la feuille	Précision SMU*	Précision	Mesuré à portée
100 mΩ/carré	±8%	±3%	200 mA
1 Ω/carré	±2%	±0,5%	200 mA
10 Ω/carré	±1%	±0,5%	200 mA
100 Ω/carré	±1%	± 0,05 %	20 mA
1 kΩ/carré	±1%	± 0,03 %	20 mA
10 kΩ/carré	±1%	± 0,02 %	2000 µA
100 kΩ/carré	±2%	± 0,05 %	200 µA
1 MΩ/carré	±8%	±0,5%	20 µA
10 MΩ/carré	±30%	±5%	20 µA

Logiciel

Votre sonde à quatre points peut être contrôlée depuis un PC, grâce à notre logiciel gratuit et convivial Ossila Sheet Resistance Lite. Avec le modèle Plus, vous pouvez également utiliser le logiciel intégré sur l’écran de données intégré. Ces deux logiciels calculent les facteurs de correction géométrique appropriés à la géométrie de l’échantillon, ainsi qu’à sa résistivité et sa conductivité, pour une caractérisation électrique complète et précise des matériaux (pour enregistrer vos données, vous devrez utiliser le logiciel Ossila Sheet Resistance Lite).

Le logiciel Sheet Resistance Lite est fourni sur la clé USB fournie, accompagné du manuel d’utilisation et des données de contrôle qualité. De plus, la dernière version est toujours disponible en téléchargement gratuit sur notre site web.

Le logiciel Sheet Resistance Lite enregistre les données dans des fichiers CSV (valeurs séparées par des virgules), ce qui facilite leur importation dans votre logiciel d’analyse préféré. Des paramètres avancés vous offrent un meilleur contrôle des mesures : vous pouvez définir des limites de tension et de courant, effectuer des mesures de polarité négative ou utiliser des sondes avec différents espacements.

Configuration requise pour Sheet Resistance Lite

Système opérateur	Windows 10 ou 11 (64 bits)
processeur	Double cœur 2 GHz
BÉLIER	2 Go
Espace disque dur disponible	270 Mo
Résolution du moniteur	1440 x 900
Connectivité	USB 2.0 ou Ethernet (nécessite DHCP)

Caractéristiques

Unités de mesure de la source (SMU 1 et SMU 2)

Les SMU produisent une tension, puis mesurent la tension et le courant. La tension de sortie est toujours mesurée sur la sortie BNC, et non pas supposée être à la tension de consigne. Ceci permet de prendre en compte les effets de charge, par exemple un court-circuit en sortie ou une faible impédance provoquant une légère chute de tension. Chaque unité de mesure de source dispose de plusieurs plages de courant, ce qui permet de mesurer avec précision les courants faibles comme élevés.

Spécifications de la source de tension

Gamme	Précision	Précision	Résolution
±10 V	10 mV	333 µV	170 µV

Spécifications de mesure de tension

Gamme	Précision	Précision	Résolution
±10 V	10 mV	50 µV	10 µV

Spécifications des mesures actuelles

Gamme	Courant maximal	Précision ¹	Précision ²	Résolution	Fardeau
1	±200 mA	±500 µA	10 µA	1 µA	< 20 mV
2	±20 mA	±10 µA	1 µA	100 nA	< 20 mV
3	±2 mA	±1 µA	100 nA	10 nA	< 20 mV
4	±200 µA	±100 nA	10 nA	1 nA	< 20 mV
5	±20 µA	±10 nA	1 nA	0,1 nA	< 20 mV

¹ La précision a été mesurée au courant maximal de la gamme.
² La précision a été mesurée à l’OSR le plus élevé (9).

Spécifications du voltmètre de précision (Vsense 1 et Vsense 2)

Les voltmètres sont conçus pour détecter avec précision les petites tensions tout en ayant une large plage dynamique (±10 V).

Gamme	Précision	Précision	Résolution
±10 V	10 mV	50 µV	10 µV

Obturateur/Déclencheur

Le déclencheur/obturateur peut être utilisé comme entrée ou comme sortie. Il peut être utilisé pour envoyer un signal de déclenchement à d’autres instruments ou configuré pour attendre un déclenchement d’autres instruments. La tension de ce connecteur BNC est de 5 V, car une tension supérieure pourrait endommager le port.